特許

J-GLOBAL ID：200903008400447710

液体噴射記録ヘッドの吐出ノズル加工方法および液体噴射記録ヘッドの製造方法

発明者： 小出 純
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-130752
公開番号（公開出願番号）：特開2000-318162
出願日： 1999年05月12日
公開日（公表日）： 2000年11月21日
要約：

【要約】【課題】 オリフィスプレートの液吐出側にマスクプレートを密着させ、該マスクプレート側からのレーザ光の照射によって、液吐出側に先細りのテーパ形状の吐出ノズルを加工する際に、マスクプレートの耐久破損ダメージを回避することができる液体噴射記録ヘッドの吐出ノズル加工方法を提供する。【解決手段】 基板材質がガラス材、石英または無機結晶材料で、該基板材質に吐出口形状のマスクパターン11を形成するとともに高エネルギー紫外線ビームが入射する面に該紫外線の波長に合わせた誘電体多層干渉膜等の全反射ミラーコーティングを施したマスクプレート1を、液体噴射記録ヘッドのオリフィスプレート2の液吐出側に密着させ、マスクプレート1側から複数の高エネルギー紫外線レーザ光A,B,C,Dを照射することによって、オリフィスプレート2に液吐出側に先細りのテーパ形状の吐出ノズル21を加工する。

請求項（抜粋）：

液体噴射記録ヘッドの吐出口が一次元配列で複数個または複数個の配列が複数列形成される吐出口形成プレートの液吐出側に、形成しようとする吐出口の形状がパターニングされたマスクプレートを密着させ、該マスクプレート側から高エネルギー紫外線ビームを照射することによって、前記吐出口形成プレートに吐出ノズルを昇華加工形成する液体噴射記録ヘッドの吐出ノズル加工方法において、前記マスクプレートは、基板材質がガラス材、石英または無機結晶材料で作製されており、該基板材質に吐出口の形状の貫通穴を形成し、高エネルギー紫外線ビームが入射する面に該紫外線の波長に合わせた全反射ミラーコーティングを施したものであることを特徴とする液体噴射記録ヘッドの吐出ノズル加工方法。

IPC (3件)：

B41J 2/135 ,  B23K 26/00 330 ,  B23K101:36

FI (2件)：

B41J 3/04 103 N ,  B23K 26/00 330

Fターム (12件)：

2C057AF93 ,  2C057AG02 ,  2C057AP02 ,  2C057AP13 ,  2C057AP23 ,  2C057AP52 ,  2C057AP54 ,  2C057AQ01 ,  4E068AF00 ,  4E068CA01 ,  4E068CD10 ,  4E068DA00