特許
J-GLOBAL ID：200903008412686647
縦型基板熱処理装置のクリーンエアユニットの取付構造
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-057425
公開番号（公開出願番号）：特開平5-226454
出願日： 1992年02月10日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：
【要約】【目的】 キャリア収納ボックスと熱処理炉との間に設けられるクリーンエアユニットに対する保守点検や交換などのメンテナンス作業を容易に行えるようにする。【構成】 前面に開閉扉1を設けたケーシング2内の上方側に、制御ボックス7およびキャリア収納ボックス4それぞれを開閉扉1よりも外方位置まで移動可能に、かつ、その外方位置からケーシング2の横側方の退避位置にわたって回転変位可能にケーシング2に設け、そして、それらの奥に設けられるクリーンエアユニット6を、開閉扉1の近傍の取り出し位置とにわたって移動可能にケーシング2に設け、クリーンエアユニット6をクリーンルーム側に取り出してメンテナンス作業を行えるように構成する。
請求項（抜粋）：
前面に開閉扉を設けたケーシング内の上方側に、基板用キャリアを多段に収容可能なキャリア収納ボックスを設けるとともに、そのキャリア収納ボックスの奥側に熱処理炉を設け、前記開閉扉と前記キャリア収納ボックスとの間に制御ボックスを設けるとともに、前記キャリア収納ボックスと前記熱処理炉との間にクリーンエアユニットを設けた縦型基板熱処理装置のクリーンエアユニットの取付構造において、前記制御ボックスおよび前記キャリア収納ボックスそれぞれを前記開閉扉よりも外方位置まで移動可能に、かつ、その外方位置から前記ケーシングの横側方の退避位置にわたって回転変位可能に前記ケーシングに設け、前記クリーンエアユニットを、前記キャリア収納ボックスと前記熱処理炉との間から前記開閉扉の近傍の取り出し位置とにわたって移動可能に前記ケーシングに設けたことを特徴とする縦型基板熱処理装置のクリーンエアユニットの取付構造。
IPC (5件)：
H01L 21/68
, C23C 16/44
, H01L 21/02
, H01L 21/22
, H01L 21/324
