特許
J-GLOBAL ID：200903008417767378
真空用移動装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-332461
公開番号（公開出願番号）：特開平6-163668
出願日： 1992年11月18日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：
【要約】【目的】 真空中を進退動する移動部の変形を防止することができる真空用移動装置を提供する。【構成】 駆動部8により駆動されて進退動する基台7と、この基台7に取付けられて主真空室21内を進退動する移動部22と、上記基台7の前面10に主真空室21と連通する前面側真空室14を形成する前面側壁部16と、上記基台7の背面15に前面側真空室14と連通する背面側真空室23を形成する背面側壁部24とを備えている。
請求項（抜粋）：
駆動部により駆動されて進退動する基台と、この基台に取付けられて主真空室内を進退動する移動部と、上記基台の前面に上記主真空室と連通する前面側真空室を形成する前面側壁部と、上記基台の背面に上記前面側真空室と連通する背面側真空室を形成する背面側壁部とを備えたことを特徴とする真空用移動装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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