特許

J-GLOBAL ID：200903008420816436

コロイダルシリカ含有研磨液の調整方法

発明者： 唐沢 祥夫 ,  阿部 忠
出願人/特許権者： 株式会社オーピーシー ,  住金石英株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-145267
公開番号（公開出願番号）：特開平8-319111
出願日： 1995年05月19日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：

【要約】【目的】 研磨キズの発生および研磨面精度の悪化を防止でき、かつ、研磨液と接触する器具へのコロイダルシリカの固着を減少することができるコロイダルシリカ含有研磨液の調整方法を提供することを目的とする。【構成】 コロイダルシリカ含有研磨液に、グリセリンを添加することを特徴とするコロイダルシリカ含有研磨液の調整方法。

請求項（抜粋）：

コロイダルシリカ含有研磨液に、グリセリンを添加することを特徴とするコロイダルシリカ含有研磨液の調整方法。

IPC (4件)：

C01B 33/141 ,  B24B 37/00 ,  B24C 1/08 ,  H01L 21/304 321

FI (4件)：

C01B 33/141 ,  B24B 37/00 H ,  B24C 1/08 ,  H01L 21/304 321 P

引用特許：

審査官引用 (8件)

• 特開平2-133399
  
• 特開昭55-139479
  
• 特開昭62-208869
  
• 特開昭64-040267
  
• 特開平2-257627
  
• 特開昭49-077292
  
• 特開昭56-026971
  
• ダイヤモンド研磨液の製造法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-209853   出願人：リファインテック株式会社