特許

J-GLOBAL ID：200903008423946934

基板処理装置

発明者： 中込 和広
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-087664
公開番号（公開出願番号）：特開2000-286175
出願日： 1999年03月30日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：

【要約】【課題】筐体内にクリーンエア流れを形成する基板処理装置に於いて、クリーンユニットの負担を軽減し、クリーンユニット寿命を延ばし、フィルタの交換時期を長くして、保守の軽減、稼働率の向上を図る。【解決手段】筐体内にクリーンエア流れを形成するクリーンユニット13,14,15、排気ファン19を具備し、筐体内の駆動機構部の動作状態に応じ、前記クリーンユニット、排気ファンの風量を調整するものであり、駆動機構部が動作していない状態では風量を低減することで、クリーンユニット、排気ファンの負担を低減する。

請求項（抜粋）：

筐体内にクリーンエア流れを形成するクリーンユニット、排気ファンを具備した基板処理装置に於いて、筐体内の駆動機構部の動作状態に応じ、前記クリーンユニット、排気ファンの風量を調整する様構成したことを特徴とする基板処理装置。

IPC (6件)：

H01L 21/02 ,  F24F 7/007 ,  F24F 7/06 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 511 ,  H01L 21/3065

FI (6件)：

H01L 21/02 D ,  F24F 7/007 B ,  F24F 7/06 C ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 511 J ,  H01L 21/302 B

Fターム (16件)：

3L056BD07 ,  3L056BE02 ,  3L056BF04 ,  3L058BE02 ,  3L058BF01 ,  3L058BF03 ,  3L058BG04 ,  5F004AA13 ,  5F004AA16 ,  5F004BC08 ,  5F004CA08 ,  5F004CA09 ,  5F045BB14 ,  5F045EB05 ,  5F045EG06 ,  5F045GB15