特許

J-GLOBAL ID：200903008431347276

金属腐食防止剤および洗浄液

発明者： 一木 直樹
出願人/特許権者： 住友化学工業株式会社
代理人 (1件)： 久保山 隆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-008355
公開番号（公開出願番号）：特開2003-213463
出願日： 2002年01月17日
公開日（公表日）： 2003年07月30日
要約：

【要約】【課題】抵抗が低い金属配線を有する半導体デバイスを洗浄する場合、金属配線を腐食することが少ない金属腐食防止剤を提供する。【解決手段】[1]トリアジン誘導体、プテリン誘導体、およびフルオロアルキルアクリレートコポリマーからなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物を含有することを特徴とする金属腐食防止剤。[2]プテリン誘導体が、2-アミノ-4,6-ジヒドロキシプテリンまたは葉酸である[1]記載の金属腐食防止剤。[3][1]または[2]記載の金属腐食防止剤を含有してなる洗浄液。[4][3]記載の洗浄液で金属配線を有する半導体デバイスを洗浄する洗浄方法。

請求項（抜粋）：

式(I)で示されるトリアジン誘導体、・・・(I)(R1、R2は、それぞれ独立して、水素原子を表すか、ヒドロキシル基、アミノ基、カルボキシル基、フェニル基、アルコシキ基、または置換されていてもよいアルキル基を表す)式(II)で示されるプテリン誘導体、・・・(II)(R3、R4、R5、R6は、それぞれ独立して、水素原子を表すか、ヒドロキシル基、アミノ基、カルボキシル基、フェニル基、アルコシキ基、メルカプト基、または置換されていてもよいアルキル基を表し、R3〜R6の少なくとも一つはアミノ基を含む)およびフルオロアルキルアクリレートコポリマーからなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物を含有することを特徴とする金属腐食防止剤。

IPC (8件)：

C23F 11/12 101 ,  C23F 11/12 102 ,  C11D 7/06 ,  C11D 7/26 ,  C11D 7/28 ,  C11D 7/32 ,  C23F 11/14 101 ,  H01L 21/304 647

FI (8件)：

C23F 11/12 101 ,  C23F 11/12 102 ,  C11D 7/06 ,  C11D 7/26 ,  C11D 7/28 ,  C11D 7/32 ,  C23F 11/14 101 ,  H01L 21/304 647 A

Fターム (20件)：

4H003BA12 ,  4H003DA15 ,  4H003EA23 ,  4H003EB04 ,  4H003EB19 ,  4H003EB20 ,  4H003EB30 ,  4K062AA03 ,  4K062BA09 ,  4K062BA11 ,  4K062BB04 ,  4K062BB05 ,  4K062BB09 ,  4K062BB12 ,  4K062BB15 ,  4K062BB16 ,  4K062BB18 ,  4K062FA09 ,  4K062FA16 ,  4K062GA01