特許

J-GLOBAL ID：200903008435848261

金属インタ-コネクトでのエレクトロマイグレ-ション寿命を増加させる方法

発明者： ライナー フロリアン シュナーベル ,  ロナルド フィリッピ ,  マーク ホインキス ,  シュテファン ヴェーバー ,  ロイ イガルデン ,  ペーター ヴァイガント ,  ローレンス クレヴェンジャー
出願人/特許権者： インフィニオン テクノロジーズ ノース アメリカ コーポレイション ,  インターナショナル ビジネス マシーンズ コーポレーション
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-375124
公開番号（公開出願番号）：特開2000-195860
出願日： 1999年12月28日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
要約：

【要約】【課題】 金属インターコネクトでのエレクトロマイグレーション寿命を増加させる方法【解決手段】 イオン化金属プラズマ物理蒸着(IMP)によりライナーを堆積させ、かつライナーの上に金属インターコネクトを堆積させ、その際、ライナーが金属インターコネクトのグレインの角度分布を低減して、エレクトロマイグレーション寿命を増加させる。

請求項（抜粋）：

金属インターコネクトでのエレクトロマイグレーション寿命を増加させる方法において、イオン化金属プラズマ物理蒸着(IMP)によりライナーを堆積させ、かつライナーの上に金属インターコネクトを堆積させ、その際、ライナーが金属インターコネクトのグレインの角度分布を低減して、エレクトロマイグレーション寿命を増加させることを特徴とする、金属インターコネクトでのエレクトロマイグレーション寿命を増加させる方法。