流体機械

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：前田弘 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-096029
公開番号（公開出願番号）：特開平7-301234
出願日： 1994年05月10日
公開日（公表日）： 1995年11月14日
要約：

【要約】【目的】加工誤差による回転軸の浮上位置を修正して最適能力状態にする。【構成】回転軸(22)を支持部材に対して浮上支持する磁気軸受(41,42,43)と、上記回転軸(22)の浮上位置を検出する位置センサとが設けられている。そして、上記回転軸(22)を浮上支持するように上記磁気軸受(41,42,43)の磁界強度を制御する磁界制御手段(5a)が設けられている。更に、上記回転軸(22)の浮上位置を往復変動させる波形信号を上記磁界制御手段(5a)に入力する変動入力手段(52)と、真空度を検出する真空度センサ(53)とが設けられている。その上、上記変動入力手段(52)による回転軸(22)の変動量と各変動位置における真空度との積の積分値を算出する積分演算手段(5b)が設けられている。加えて、該積分演算手段(5b)の積分値に基づいてが最適真空度になるように回転軸(22)の最適位置信号を上記磁界制御手段(5a)に出力する軸心設定手段(5c)が設けられている。

請求項（抜粋）：

ケーシング(11)の内部に設けられて軸孔(23)が形成された支持部材(21)と、該支持部材(21)の軸孔(23)に挿入された回転軸(22)と、該回転軸(22)の連結されて流体とエネルギ交換する流体作用部(30)とを備えた流体機械において、上記回転軸(22)を支持部材(21)に対して浮上支持する磁気軸受(40)と、上記回転軸(22)の浮上位置を検出する位置検出手段(4a,4b,4c)と、上記位置検出手段(4a,4b,4c)の位置信号に基づいて支持部材(21)に対して回転軸(22)を所定位置に浮上支持するように上記磁気軸受(40)の磁界強度を制御する磁界制御手段(5a)と、上記回転軸(22)の浮上位置を往復変動させる波形信号を上記磁界制御手段(5a)に入力する変動入力手段(52)と、上記流体の圧力を検出する圧力検出手段(53)と、上記変動入力手段(52)による回転軸(22)の変動量と上記圧力検出手段(53)が検出した各変動位置における圧力値との積の積分値であって、少なくとも上記波形入力手段の波形信号の1周期分の積分値を算出する積分演算手段(5b)と、該積分演算手段(5b)の積分値に基づいて流体が最適圧力値になるように回転軸(22)の最適位置信号を上記磁界制御手段(5a)に出力する軸心設定手段(5c)とを備えていることを特徴とする流体機械。

IPC (3件)：

F16C 32/04 , F04C 25/02 , F04C 29/00

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