特許
J-GLOBAL ID：200903008443155976
廃液処理装置及び廃液処理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-164452
公開番号（公開出願番号）：特開平11-010134
出願日： 1997年06月20日
公開日（公表日）： 1999年01月19日
要約：
【要約】【課題】本発明は、廃液処理方法に関し、pH調整なしで、アルカリ性のまま廃液の濃縮倍率を上げることにより、現像廃液の大幅な減容化と容易な運転管理を達成し、かつ濃縮した現像廃液を酸性排ガスの中和剤として再利用する。【解決手段】(1)減圧状態で現像廃液を供給しつつ(S3)加熱して該現像廃液を濃縮させ(S4)、(2)加熱した後の濃縮した現像廃液を貯留し(S5)、(3)貯留した現像廃液に含まれている特定物質の濃度を測定し(S6)、(4)濃度が所定値よりも低いときは、貯留した現像廃液について(1)、(2)及び(3)を繰り返し、特定物質の濃度が所定値以上になったとき現像廃液を回収する(S7)。
請求項（抜粋）：
現像廃液を溜める現像廃液貯溜槽と、前記現像廃液の導入口と、前記導入した現像廃液を加熱する手段と、前記加熱により前記現像廃液中から蒸発する蒸気の排気口と、前記加熱した後の濃縮した現像廃液を溜める貯溜部と、前記貯溜部の現像廃液の温度を測定する手段とを有する減圧可能な濃縮貯溜槽と、前記濃縮した現像廃液を回収する濃縮廃液回収槽と、前記現像廃液貯溜槽から前記濃縮貯溜槽の導入口に該現像廃液貯留槽内の現像廃液を送る第1の配管と、前記貯溜部内の現像廃液を前記導入口に還流させる第2の配管と、前記濃縮貯溜槽の貯留部内の現像廃液を前記濃縮廃液回収槽に送る第3の配管と、前記貯溜部の現像廃液の温度が所定の圧力下で設定温度よりも低いとき、前記貯溜部の現像廃液を前記第2の配管に流出させて前記導入口に導き、前記貯溜部の現像廃液の温度が前記所定の圧力下で前記設定温度以上のとき、前記貯溜部の現像廃液を前記第3の配管に流出させて前記濃縮廃液回収槽に導く第1の制御手段とを有することを特徴とする廃液処理装置。
IPC (2件)：
C02F 1/04 ZAB
, G03C 5/00
C02F 1/04 ZAB D
, G03C 5/00 A
