特許

J-GLOBAL ID：200903008448383950

窒化ケイ素系焼結体

発明者： 山本 剛久 ,  西岡 隆夫 ,  松沼 健二 ,  山川 晃
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 小松 秀岳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-287916
公開番号（公開出願番号）：特開平5-124867
出願日： 1991年11月01日
公開日（公表日）： 1993年05月21日
要約：

【要約】【目的】 特に常温において優れた機械的強度を有し、生産性、コスト面において優れた窒化ケイ素系焼結体を提供することを目的とする。【構成】 α-窒化ケイ素とβ ́-サイアロンからなる窒化ケイ素焼結体であって、α-窒化ケイ素の平均結晶粒径が0.5μm以下、β ́-サイアロンの長軸、短軸方向の平均結晶粒径がそれぞれ2.0〜5.0μm、0.5μm以下であることを特徴とし、結晶相のX線回折によるピーク強度比が20%≦α-窒化ケイ素≦50%、50%≦β’-サイアロン≦80%であるもの。

請求項（抜粋）：

α-窒化ケイ素とβ ́-サイアロンからなる窒化ケイ素焼結体であって、α-窒化ケイ素の平均結晶粒径が0.5μm以下、β ́-サイアロンの長軸、短軸方向の平均結晶粒径がそれぞれ2.0μm〜5.0μmおよび0.5μm以下であることを特徴とする窒化ケイ素系焼結体。