特許
J-GLOBAL ID：200903008457199348
異種金属接合プロ-ブ、その製造方法及び異種金属接合プロ-ブを用いたプロ-ブカ-ド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大西 孝治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-113080
公開番号（公開出願番号）：特開2000-187043
出願日： 1999年04月21日
公開日（公表日）： 2000年07月04日
要約：
【要約】【目的】 プリント配線の配線パターンの狭小ピッチ化に対応することができるようにする。【構成】 タングステンからなるプローブ部110と、このプローブ部110の後端に突き合わせ接合された銅線120と、プローブ部110と銅線120との間に介在された金属材料としてのプラチナPtとを有している。
請求項（抜粋）：
タングステンからなるプローブ部と、このプローブ部の後端に突き合わせ接合された銅線とを具備したことを特徴とする異種金属接合プローブ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/067 G
, H01L 21/66 B
