特許
J-GLOBAL ID：200903008457901328
移動テーブル装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
成瀬 勝夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-105182
公開番号（公開出願番号）：特開平11-300558
出願日： 1998年04月15日
公開日（公表日）： 1999年11月02日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 所定角度だけ回転させた後に平行に移動させる動作を、簡単な制御で行うことができると共に、回転中心を二軸方向に沿って直線状に移動させることが容易に可能であり、しかも、移動テーブルを一軸方向に沿って大きく移動させるテーブル装置を提供する。【解決手段】 移動テーブルを回転自在に支持する複数の二軸案内機構41 、42 、43 、44 、45 と、二軸案内機構4のテーブル基盤2側の移動部材を、第1の軸方向に沿って駆動する駆動手段5と、駆動手段5によって駆動される二軸案内機構4の移動テーブル3側の移動部材を、テーブル基盤2側の移動部材に対して第2の軸方向に沿って駆動する第2の駆動手段6と、二軸案内機構4のテーブル基盤2側の移動部材を、第1の駆動手段5によって駆動される二軸案内機構4のテーブル基盤2側の移動部材に対して、第1の軸方向に沿って駆動する第3の駆動手段7と、を備える。
請求項（抜粋）：
テーブル基盤に対して移動テーブルを、互いに交差する二軸方向に沿って移動可能に、かつ二軸が形成する平面に対して直交する軸を中心にして回動可能に取り付けてなる移動テーブル装置において、前記テーブル基盤に対して移動テーブルを、互いに交差する二軸方向に沿って、かつ一方の軸方向に沿って大きく移動自在に案内すると共に、移動テーブルを回転自在に支持する複数の二軸案内機構と、前記複数の二軸案内機構のうち、少なくとも1つの二軸案内機構のテーブル基盤側の移動部材を、移動量の大きな第1の軸方向に沿って駆動する第1の駆動手段と、前記第1の駆動手段によって駆動される二軸案内機構の移動テーブル側の移動部材を、テーブル基盤側の移動部材に対して第2の軸方向に沿って駆動する第2の駆動手段と、前記複数の二軸案内機構のうち、少なくとも他の1つの二軸案内機構のテーブル基盤側の移動部材を、前記第1の駆動手段によって駆動される二軸案内機構のテーブル基盤側の移動部材に対して、第1の軸方向に沿って駆動する第3の駆動手段と、を備えたことを特徴とする移動テーブル装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B23Q 1/14 Z
, G12B 5/00 T
