特許

J-GLOBAL ID：200903008461917794

不均一複合組織試料の定量分析装置

発明者： 高橋 秀之
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 最上 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-053744
公開番号（公開出願番号）：特開2000-249668
出願日： 1999年03月02日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】 不均一複合組織試料における各粒子組織の重量濃度を算出し、試料全体の定量結果を精度よく得られるようにした不均一複合組織試料の定量分析装置を提供する。【解決手段】 試料表面の電子像を取得するための反射電子検出器8又は2次電子検出器9と、試料表面の粒子組織の重心に電子ビームを移動固定して定量分析するためのWDS16又はEDS17と、反射電子信号データ又は2次電子信号データによる電子像に基づいて試料中の各粒子組織の面積を求め体積率を算出する手段27と、EDSX線信号データ又はWDSX線信号データに基づき定量分析を実行する手段28と、定量分析手段で得られた各粒子組織の元素に対応する密度及び原子濃度並びに体積率に基づいて重量濃度を算出する手段29とで不均一複合組織試料の定量分析装置を構成する。

請求項（抜粋）：

試料表面を電子像又はX線像として観察する試料表面観察手段と、該試料表面観察手段により得られる試料中の各粒子組織の面積に基づいて各粒子組織の体積率を算出する手段と、試料に照射した電子線により発生する特性X線に基づく各粒子組織の定量分析を行う手段と、定量分析手段で得られた各粒子組織の元素に対応する密度及び原子濃度並びに前記体積率算出手段で得られた各粒子組織の体積率とに基づいて重量濃度を算出する手段とを備えていることを特徴とする不均一複合組織試料の定量分析装置。

IPC (2件)：

G01N 23/225 ,  H01J 37/252

FI (2件)：

G01N 23/225 ,  H01J 37/252 A

Fターム (21件)：

2G001AA03 ,  2G001BA05 ,  2G001BA07 ,  2G001BA15 ,  2G001CA01 ,  2G001CA03 ,  2G001EA01 ,  2G001EA03 ,  2G001EA08 ,  2G001FA01 ,  2G001FA06 ,  2G001GA06 ,  2G001HA09 ,  2G001HA13 ,  2G001JA07 ,  2G001KA01 ,  2G001NA03 ,  2G001NA17 ,  2G001PA11 ,  5C033PP04 ,  5C033PP05