特許

J-GLOBAL ID：200903008462983090

赤外光放射装置および赤外光検出装置ならびに時系列変換パルス分光計測装置

発明者： 西澤 誠治 ,  岩本 敏志
出願人/特許権者： 独立行政法人科学技術振興機構 ,  西澤 誠治
代理人 (2件)： 藤田 考晴 ,  上田 邦生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-286712
公開番号（公開出願番号）：特開2006-098300
出願日： 2004年09月30日
公開日（公表日）： 2006年04月13日
要約：

【課題】 基板の吸収による影響を受けずに広帯域の計測が可能な赤外光放射装置を提供することを目的とする。【解決手段】 パルス励起光が照射されて光キャリアを生成する光伝導膜22と、光伝導膜22の一側面上に形成され、その先端間に間隙21aを介して配置された、赤外光を放射する一対のアンテナ電極膜21と、光伝導膜22の他側面側でかつ少なくとも間隙21aに対応する領域に形成され、遠赤外光を透過する赤外光透過部材24とを備えている。赤外光透過部材24としては、ダイヤモンド・ライク・カーボンが好適に用いられる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

パルス励起光が照射されて光キャリアを生成する光伝導膜と、 該光伝導膜の一側面上に形成され、その先端間に間隙を介して配置された、赤外光を放射する一対のアンテナ電極膜と、 前記光伝導膜の他側面側でかつ少なくとも前記間隙に対応する領域に形成され、前記赤外光を透過する赤外光透過部材と、 を備えていることを特徴とする赤外光放射装置。

IPC (6件)：

G01J 3/10 ,  G01J 1/02 ,  G01J 11/00 ,  G01N 21/01 ,  G01N 21/35 ,  H01L 37/00

FI (6件)：

G01J3/10 ,  G01J1/02 R ,  G01J11/00 ,  G01N21/01 D ,  G01N21/35 Z ,  H01L37/00

Fターム (31件)：

2G020CA02 ,  2G020CA14 ,  2G020CB03 ,  2G020CB23 ,  2G020CB42 ,  2G020CB51 ,  2G020CC47 ,  2G020CC48 ,  2G020CD04 ,  2G020CD13 ,  2G020CD25 ,  2G020CD35 ,  2G020CD37 ,  2G059AA01 ,  2G059AA05 ,  2G059EE01 ,  2G059GG00 ,  2G059GG01 ,  2G059GG08 ,  2G059GG10 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ01 ,  2G059KK01 ,  2G065AB09 ,  2G065AB14 ,  2G065AB23 ,  2G065BA14 ,  2G065BB14 ,  2G065BB25 ,  2G065BB37 ,  2G065DA08

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 誘電体物質の光物性定数の光学的測定方法及びその装置並びにその装置を組み込んだ製造システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-074938   出願人：武田三男