特許

J-GLOBAL ID：200903008463615590

パターン形成装置、パターン形成方法、有機電界発光素子ディスプレイの製造装置及び製造方法

発明者： 柿沼 正康
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-182273
公開番号（公開出願番号）：特開2002-009098
出願日： 2000年06月16日
公開日（公表日）： 2002年01月11日
要約：

【要約】【課題】 成膜時の熱によってメタルマスクが膨張しても、メタルマスクの歪みを防いで、安定にパターン形成を行う。【解決手段】 基板上にパターン形成を行うパターン形成装置であって、基板の一方の面側に配され、磁性材料からなるマスクと、マスクが取り付けられるマスク取り付け部材と、基板の他方の面側に配された磁化部材と、基板のマスクが配された面と対向して配されたパターン形成手段とを備える。そして、マスク取り付け部材は、マスクが熱膨張した場合の大きさよりも大きく、かつ、マスクの厚みよりも大きな深さで凹に形成された段差部分を有しており、マスクは当該段差部分に取り付けられる。

請求項（抜粋）：

基板上にパターン形成を行うパターン形成装置であって、上記基板の一方の面側に配され、磁性材料からなるマスクと、上記マスクが取り付けられるマスク取り付け部材と、上記基板の他方の面側に配された磁化部材と、上記基板のマスクが配された面と対向して配されたパターン形成手段とを備え、上記マスク取り付け部材は、上記マスクが熱膨張した場合の大きさよりも大きく、かつ、当該マスクの厚みよりも大きな深さで凹に形成された段差部分を有しており、上記マスクは当該段差部分に取り付けられることを特徴とするパターン形成装置。

IPC (7件)：

H01L 21/60 ,  C23C 14/04 ,  C23C 14/24 ,  C23C 14/34 ,  C23C 16/44 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14

FI (7件)：

C23C 14/04 A ,  C23C 14/24 G ,  C23C 14/34 K ,  C23C 16/44 A ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 A ,  H01L 21/92 604 A

Fターム (33件)：

3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007CA01 ,  3K007CB01 ,  3K007DA01 ,  3K007DB03 ,  3K007EB00 ,  3K007FA01 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA10 ,  4K029BA14 ,  4K029BA50 ,  4K029BA62 ,  4K029BB02 ,  4K029BB03 ,  4K029BC09 ,  4K029CA01 ,  4K029CA05 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03 ,  4K029HA04 ,  4K030BA11 ,  4K030BA16 ,  4K030BA42 ,  4K030BA45 ,  4K030BA61 ,  4K030BB12 ,  4K030BB14 ,  4K030CA06 ,  4K030CA17 ,  4K030DA05 ,  4K030KA24