特許

J-GLOBAL ID：200903008468548956

チタン錯体を含む有機金属化学蒸着法用溶液原料及びそれを用いて作製されたチタン含有薄膜

発明者： 齋 篤 ,  小木 勝実
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 須田 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-073913
公開番号（公開出願番号）：特開2003-268546
出願日： 2002年03月18日
公開日（公表日）： 2003年09月25日
要約：

【要約】【課題】 均一で安定した気化が行われ、高い成膜速度で高純度の所望のチタン含有薄膜が得られる有機金属化学蒸着用の溶液原料を提供する。銅薄膜の下地として密着性に優れた高純度のチタン含有薄膜を提供する。【解決手段】 次の式(1)で示されるチタン錯体をアミン系溶媒、具体的にはn-メチル-2-ピロリドン、ジメチルアニリン、ジ-t-ブチルアニリン、ジ-n-ブチルアニリン、ジイソプロピルアニリン、トリ-t-ブチルアニリン及びトリイソプロピルアニリンからなる群より選ばれた1種又は2種以上の化合物に溶解したことを特徴とする有機金属化学蒸着法用溶液原料である。【化3】但し、Rは炭素数1〜4の直鎖又は分岐状アルキル基である。

請求項（抜粋）：

次の式(1)で示されるチタン錯体をアミン系溶媒に溶解したことを特徴とする有機金属化学蒸着法用溶液原料。【化1】但し、Rは炭素数1〜4の直鎖又は分岐状アルキル基である。

IPC (2件)：

C23C 16/18 ,  H01L 21/285

FI (2件)：

C23C 16/18 ,  H01L 21/285 C

Fターム (15件)：

4K030AA11 ,  4K030BA01 ,  4K030BA18 ,  4K030BA44 ,  4K030BB12 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4M104AA01 ,  4M104BB04 ,  4M104BB14 ,  4M104DD43 ,  4M104DD44 ,  4M104DD45 ,  4M104FF13 ,  4M104HH08