特許
J-GLOBAL ID：200903008477562430
光学系の波面収差測定方法及び波面収差測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-075903
公開番号（公開出願番号）：特開2003-270091
出願日： 2002年03月19日
公開日（公表日）： 2003年09月25日
要約：
【要約】【課題】 シャックハルトマン法による波面収差測定において、放送用ズームレンズのように多くの倍率および被写体距離などの多様な条件で使用される被検光学系の光学性能を、簡便に測定できる方法及び装置を提供すること。【解決手段】 点光源からの光束を照射光学系により被検光学系に照射した後、折り返しミラーでもと来た光路を逆行させ、該被検光学系から該照射光学系中のマッチングレンズを戻って広がった光束をマイクロレンズアレイに導き、該マイクロレンズの焦点面に配置した撮像素子により検出する光束位置より該被検光学系の波面収差を算出するシャックハルトマン法による光学系の波面収差測定方法及び装置において、該マッチングレンズの前記被検光学系に対する光束の拡がり該被検光学系の有効光束の状態に合わせて可変であることを特徴とする波面収差測定方法及び装置。
請求項（抜粋）：
光源と、該光源からの光束を照射光学系により被検光学系に照射した後、折り返しミラーでもと来た光路を逆行させ、前記被検光学系から前記照射光学系中のマッチングレンズを戻って広がった光束をマイクロレンズアレイに導き、前記マイクロレンズの焦点面に配置した撮像素子により検出する光束の位置より前記被検光学系の波面収差を算出する光学系の波面収差測定装置において、前記マッチングレンズの前記被検光学系に対する光束の広がりが可変であることを特徴とする光学系の波面収差測定装置。
Fターム (1件)：
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