特許

J-GLOBAL ID：200903008479294085

ガスセンサおよびその製造方法

発明者： 河田 泰之
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (1件)： 山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-041790
公開番号（公開出願番号）：特開平5-240821
出願日： 1992年02月28日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：

【要約】【目的】多成分ガスが検知可能なガスセンサを得る。【構成】基板1上に複数のセンサ電極 2a,2b,2c,2dを設け、感ガス層3をこれらセンサ電極上に積層するとともに、感ガス層3内の白金触媒とパラジウム触媒をセンサ電極の配列方向に異なるパターンで濃度変化させる。

請求項（抜粋）：

基板の一主面上に複数のセンサ電極とこれらセンサ電極上に積層される感ガス層とを有し、感ガス層は担体に複数の種類の触媒を担持してなり、前記触媒はセンサ電極の配方向にそれぞれ異なるパターンでその濃度を連続的に変化してなることを特徴とするガスセンサ。