特許
J-GLOBAL ID：200903008479859210
圧電振動ジャイロ用振動子及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-327264
公開番号（公開出願番号）：特開平8-184442
出願日： 1994年12月28日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：
【要約】【目的】 切断時にも帯状電極と切断面との平行度や寸法に誤差を生じることのない圧電振動ジャイロ用振動子及びその製造方法を提供すること。【構成】 圧電セラミックス角柱1の側面に、圧電セラミックス角柱1の長さ方向と平行な複数個の駆動・検出・アース用の帯状電極が施された圧電振動ジャイロ用振動子において、圧電セラミックス角柱1の側面を凹凸形状に形成し、帯状電極11,12,13,14,15,16が凹凸形状の凹部4に沿って位置させられている。
請求項（抜粋）：
角柱状圧電セラミックスの側面に、該圧電セラミックス角柱の長さ方向と平行な複数個の駆動・検出・アース用の帯状電極が施された圧電振動ジャイロ用振動子において、該圧電セラミックス角柱の側面を凹凸形状に形成し、前記帯状電極が前記凹凸形状の凹部に沿って位置するようにしたことを特徴とする圧電振動ジャイロ用振動子。
IPC (3件)：
G01C 19/56
, G01P 9/04
, H01L 41/08
