特許

J-GLOBAL ID：200903008480729761

有機銅化合物及び該化合物を含む混合液並びにそれを用いて作製された銅薄膜

発明者： 齋 篤 ,  小木 勝実
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 須田 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-302407
公開番号（公開出願番号）：特開2002-161098
出願日： 2000年10月02日
公開日（公表日）： 2002年06月04日
要約：

【要約】【課題】 成膜前の保存状態で分解しにくく寿命が長い。より高い成膜速度が得られ、基板上で効率よく分解して揮発性が高い。下地膜との密着性に優れる。【解決手段】 有機銅化合物は、一価の銅に1,1,1,5,5,5-ヘキサフルオロ-2,4-ペンタンジオンとアルキノール基を有する化合物とを配位した次の式(1)で示される。【化5】但し、X1,X2はそれぞれ水素であるか、又は炭素数が1〜7のアルキル基若しくはシリル基であるか、或いは水酸基を含み、かつX1,X2は互いに同一でも異なってもよい。

請求項（抜粋）：

一価の銅に1,1,1,5,5,5-ヘキサフルオロ-2,4-ペンタンジオンとアルキノール基を有する化合物とを配位した次の式(1)で示される有機銅化合物。【化1】但し、X1,X2はそれぞれ水素であるか、又は炭素数が1〜7のアルキル基若しくはシリル基であるか、或いは水酸基を含み、かつX1,X2は互いに同一でも異なってもよい。

IPC (4件)：

C07F 1/08 ,  C23C 16/18 ,  H01L 21/285 ,  H01L 21/285 301

FI (4件)：

C07F 1/08 Z ,  C23C 16/18 ,  H01L 21/285 C ,  H01L 21/285 301 Z

Fターム (19件)：

4H048AA01 ,  4H048AB91 ,  4H048VA56 ,  4H048VB10 ,  4K030AA11 ,  4K030BA01 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030FA10 ,  4M104AA01 ,  4M104BB04 ,  4M104BB30 ,  4M104CC01 ,  4M104DD37 ,  4M104DD43 ,  4M104DD45 ,  4M104EE15 ,  4M104HH09 ,  4M104HH16