特許
J-GLOBAL ID：200903008484485603
気相成長用サセプタ
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-078619
公開番号（公開出願番号）：特開平5-238882
出願日： 1992年02月28日
公開日（公表日）： 1993年09月17日
要約：
【要約】【目的】 スリップの発生をより確実に押え、気相成長プロセスの自由度を高める。【構成】 ザグリ1にリング状の突起部2を同心状に設け、この突起部2によりウェーハWを支持する。突起部2はウェーハWの表面がサセプタ10の表面にほぼ一致する高さに形成されている。ザグリ1の底面3は気相成長中においてもウェーハWの底面が接触しない深さに形成されている。これによりウェーハWはより少ない接触面積で安定的に支持され、スリップの発生がより確実に押えられる。
請求項（抜粋）：
気相成長用サセプタにおいて、サセプタの表面に設けられたウェーハ載置用のザグリと、同ザグリ内に同心状に設けられたリング状の突起部とを有し、前記突起部はこの上に載置されたウェーハ表面が前記サセプタの表面とほぼ一致する高さに形成され、前記ザグリの底面は前記突起部に載置されたウェーハの裏面が気相成長中においても接触しない深さに形成されていることを特徴とする気相成長用サセプタ。
IPC (2件)：
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