特許
J-GLOBAL ID：200903008496440010
情報記録媒体用ガラス基板の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-091124
公開番号（公開出願番号）：特開2004-303280
出願日： 2003年03月28日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：
【課題】研磨時における研磨パッド表面の荒れの発生を抑制することができ、この荒れの発生による表面品質の低下を防止することができる情報記録媒体用ガラス基板の製造方法を提供する。【解決手段】ガラス基板は、ガラス素板の主表面を研磨パッドで研磨し、その主表面の微小うねりの高さ(NRa)を0.12nm以下とすることで製造されている。ガラス素板の研磨には、円孔が透設された板状をなすキャリアが用いられ、ガラス素板はキャリアの円孔に収容された状態で、キャリアの表面とともにその主表面に研磨パッドが摺接される。ガラス素板の主表面の微小うねりの高さ(NRa)は、研磨パッドの表面粗さに依存した値となる。研磨パッドの表面粗さは、キャリアの表面粗さに依存した値となる。これに基づき、キャリアの表面粗さ(Ra)は0.08μm以下とされている。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
円孔が透設された板状をなすキャリアを用い、このキャリアの円孔に円盤状に形成されたガラス素板を収容した状態で、該キャリアの表面とともにガラス素板の主表面に研磨パッドを摺接させることにより、同ガラス素板の主表面を研磨し、その主表面の微小うねりの高さ(NRa)を所定値以下とすることで製造される情報記録媒体用ガラス基板の製造方法であって、
前記主表面の微小うねりの高さ(NRa)が研磨パッドの表面粗さに依存した値となり、この研磨パッドの表面粗さがキャリアの表面粗さに依存した値となることに基づき、該キャリアの表面粗さ(Ra)を0.08μm以下とすることにより、測定波長(λ)を0.2〜1.4mmに設定した三次元表面構造解析顕微鏡で測定された主表面の微小うねりの高さ(NRa)を0.12nm以下とすることを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。
IPC (5件)：
G11B5/84
, B24B1/00
, B24B37/00
, B24B37/04
, C03C19/00
G11B5/84 A
, B24B1/00 D
, B24B37/00 C
, B24B37/04 C
, C03C19/00 Z
3C049AA07
, 3C049CA01
, 3C049CA06
, 3C049CB01
, 3C058AA07
, 3C058CA01
, 3C058CA06
, 3C058CB01
, 3C058DA06
, 4G059AA08
, 4G059AB03
, 4G059AB09
, 4G059AC03
, 4G059AC24
, 5D112AA02
, 5D112AA24
, 5D112BA03
, 5D112BA09
, 5D112GA02
, 5D112GA12
