特許
J-GLOBAL ID：200903008502444952
フィルム減圧貼り合わせ装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-215960
公開番号（公開出願番号）：特開2001-038806
出願日： 1999年07月29日
公開日（公表日）： 2001年02月13日
要約：
【要約】【課題】減圧室に設けたフィルム搬入部及び基板搬入部において、減圧室内の気密性を保持するために設けた圧着ロール間をフィルム本体及び基板が通過するため、減圧室内への搬入時に生じる摺動や摩擦により粉塵が生じ、基板面にフィルム本体と共に粉塵を貼り合わせるため、基板面が損傷すると共に、圧着ロールが基板やロールフィルムとの摩擦により摩耗するため、交換作業を頻繁に行う必要がある。【解決手段】フィルム搬入口17a、17bの開閉部に減圧室11内に搬入したベースフィルム2のレジスト3以外が位置した時に、シリンダ12a、12bを動作して減圧室11を閉鎖するとともに、排気手段(図示省略)を動作して減圧室11内に所望の真空度を形成し、ラミネーションロール20a、20bを動作する制御手段100を備えた。
請求項（抜粋）：
間隔をもって複数の基板を搬送する基板搬送手段と、前記各基板に貼り付けたいフィルム本体をベースフィルム上に形成したフィルムを連続して搬送するフィルム搬送手段と、該基板の基板搬入口と該フィルムのフィルム搬入口とを有し、ベースフィルムを介してフィルム本体を基板に貼り合わせる貼り合わせ手段を内部に備え、該貼り合わせ手段によりフィルム本体を貼り合わせた基板を搬出する基板搬出口を有する減圧室と、該減圧室閉鎖時に該減圧室内を排気する排気手段を備えたフィルム減圧貼り合わせ装置において、該減圧室の閉鎖時に該減圧室内に存在するフィルム本体の長さを、少なくとも基板長さ2枚分以上とするフィルム長さ調整機構を備えたことを特徴とするフィルム減圧貼り合わせ装置。
IPC (3件)：
B29C 65/00
, B29K101:00
, B29L 9:00
4F211AC03
, 4F211AD08
, 4F211AH36
, 4F211TA05
, 4F211TA13
, 4F211TC03
, 4F211TC09
, 4F211TD11
, 4F211TJ30
, 4F211TN52
, 4F211TN56
, 4F211TN67
, 4F211TQ08
