特許
J-GLOBAL ID：200903008509945493
液処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-331551
公開番号（公開出願番号）：特開2000-153192
出願日： 1998年11月20日
公開日（公表日）： 2000年06月06日
要約：
【要約】【課題】 基板、特にフラットディスプレイ用基板の液処理を該基板の下面に施すために用いられ、該基板の処理面に触れることなく、さらに大きさの異なる複数の基板に対応可能な液処理装置を提供する。【解決手段】 液処理装置に、外側を太くしたテーパ状に形成されると共に、外側の段の最細部が、内側の段の最太部よりも大きい段を持つ搬送コロ20a...を有する搬送装置21aを配し、該搬送装置21aで基板10の幅方向両端部を支持、搬送する。さらに、該基板10の上下両方向に、処理液50を噴霧するためのスプレーノズル30a...・30b...を配し、スプレーノズル30b...からの処理液50噴霧により、基板10の下面処理を行うとともに、スプレーノズル30a...からの処理液50噴霧により、基板10にかかる押し上げ圧に対抗し該基板10の安定搬送を行う。
請求項（抜粋）：
液体を用いて基板下面を処理する液処理装置において、基板の幅方向両端部を下方向から支持しながら、該基板を搬送する搬送装置を備えると共に、該基板の下面および上面に液体を噴霧する噴霧装置が設けられていることを特徴とする液処理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B05B 13/02
, B65G 13/00 Z
3F033BA04
, 3F033BA06
, 3F033BB02
, 3F033BB05
, 3F033BC03
, 3F033BC09
, 3F033EA01
, 3F033EA06
, 4F035AA04
, 4F035CC01
, 4F035CD03
, 4F035CF00
出願人引用 (3件)
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特開平4-200678
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板の搬送装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-126345
出願人：富士通株式会社, 株式会社アルメックス
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液晶表示パネル用基板の収納法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-308758
出願人：三菱電機株式会社, 旭硝子株式会社
審査官引用 (2件)
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特開平4-200678
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板の搬送装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-126345
出願人：富士通株式会社, 株式会社アルメックス
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