特許
J-GLOBAL ID：200903008518388440
X線露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-311836
公開番号（公開出願番号）：特開平5-129188
出願日： 1991年10月30日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：
【要約】【目的】 X線露光中のSR-X線のX線強度の変動を検出して、基板のX線露光量の変動を防ぐ。【構成】 SR-X線のシートビーム1の厚さ方向(y軸方向)に直列に配置された第一および第二のX線ディテクター8a,8bを、シリンドリカルミラー2と共に移動するセンサー保持部材7に保持させる。各X線ディテクター8a,8bはシートビーム1の上縁および下縁を含む所定領域のX線をそれぞれ検出して、制御回路9によってシートビーム1のy軸方向の変位を算出し、y駆動装置6によってシリンドリカルミラー2をy軸方向へ駆動することで、シートビーム1とシリンドリカルミラー2の相対的位置ずれを解消するとともに、演算器16によって各X線ディテクター8a,8bの出力の和からSR-X線のX線強度を算出し、X線強度の変動に応じて基板の露光時間を制御する。
請求項（抜粋）：
SR-X線を所望の方向に拡大するミラーを、該ミラーの反射面に対して垂直方向に移動させるミラー駆動手段と、前記SR-X線の前記垂直方向の変位を検出するために前記ミラーとともに移動する第1のX線ディテクター及び第2のX線ディテクターと、第1及び第2のX線ディテクターの出力によって前記ミラー駆動手段を制御する制御手段と、少くとも前記第1又は第2のX線ディテクターの出力によって前記SR-X線のX線強度を算出する演算器とからなるX線露光装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G21K 5/02
, H05H 13/04
