特許
J-GLOBAL ID：200903008521123180
静電吸着装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-048552
公開番号（公開出願番号）：特開平7-263529
出願日： 1994年03月18日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：
【要約】【構成】静電吸着装置に被保持物体を静電吸着する手段の他に真空吸着する手段を設け、さらに被保持物体と静電チャック間の吸着時に変化する電気的または物理的特性値の検出手段を設け、真空吸着と静電吸着を同時に動作させた場合に示す電気的または物理的特性値の値を、静電吸着装置8の動作時の吸着状態確認手段6として評価する。【効果】ウエハ吸着、またウエハ平坦化等保持状態の確認手段となる。
請求項（抜粋）：
電極板及び誘電体とを積層してなり、前記電極板と被保持物体間に電位差を生じさせることによって誘電体に被保持物体を吸着させる静電吸着装置において、前記静電吸着装置に、真空吸着する手段、静電吸着の際に変化する電気的、または物理的特性値の検出手段を設け、真空吸着と静電吸着を同時に動作させた場合に示す、電気的、または物理的特性値の変化の値を、前記静電吸着装置の動作時の吸着状態確認手段とすることを特徴とする静電吸着装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, H02N 13/00
