特許
J-GLOBAL ID：200903008524034405
マスク検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-348474
公開番号（公開出願番号）：特開平7-190945
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：
【要約】【目的】透明な欠陥と不透明な欠陥の検出感度を均等できるマスク検査装置を提供する。【構成】マスク1の上面に向けて垂直な方向から光を照射する第1の照明装置2と、マスク1の下面に向けて光を照射する第2の照明装置3と、マスク1の上面を観察する光学センサ6と、この光学センサ6の出力から第1の照明装置2のみを動作させたときの第1の画像情報と第2の照明装置3のみを動作させたときの第2の画像情報とを得る手段5、7、15、9、10と、第1の画像情報に対してマスク1の不透明部17の光反射率を補正した第3の画像情報を得る手段11と、第2の画像情報に対してマスク1の透明部16の光透過率を補正した第4の画像信号を得る手段12と、第3の画像情報と第4の画像情報との差の画像情報を出力する手段13、14とを備えている。
請求項（抜粋）：
透明部と不透明部(または半透明部)とを備えたマスクを検査するためのものであって、前記マスクの上面に向けて垂直な方向から光を照射する第1の照明手段と、前記マスクの下面に向けて光を照射する第2の照明手段と、前記マスクの上面を観察する観察手段と、この観察手段の出力から前記第1の照明手段のみを動作させたときの第1の画像情報と前記第2の照明手段のみを動作させたときの第2の画像情報とを得る手段と、前記第1の画像情報に対して前記マスクの不透明部の光反射率を補正した第3の画像情報を得る手段と、前記第2の画像情報にに対して前記マスクの透明部の光透過率を補正した第4の画像情報を得る手段と、前記第3の画像情報と前記第4の画像情報との差の画像情報を出力する手段とを具備してなることを特徴とするマスク検査装置。
IPC (5件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G03F 1/08
, H01L 21/027
, H01L 21/66
