特許
J-GLOBAL ID：200903008528125286
ガラス基板周辺の現像方法とその現像液塗布装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-175462
公開番号（公開出願番号）：特開平7-027917
出願日： 1993年07月15日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：
【要約】【目的】本発明は、ガラス基板の周辺部の余剰なレジスト膜を除去するために、ガラス基板周辺に予め現像液又はそれに類する薬液を塗布し、現像を先行させるガラス基板周辺の現像方法とその現像液塗布装置を提供するものである。【構成】カラーフィルターの製造工程において、カラーレジスト成膜済ガラス基板周辺の余剰なレジスト膜に現像液を塗布し、ガラス基板周辺の現像方法と現像液塗布装置であって、前記カラーレジスト成膜済ガラス基板の左右の縦側縁に、現像液を塗布し現像する第1の現像工程と、前記カラーレジスト成膜済ガラス基板上下の両横側縁に、現像液を塗布し現像する第2の現像工程とを施すことを特徴とするガラス基板周辺の現像方法とその現像液塗布装置である。
請求項（抜粋）：
カラーフィルターの製造工程において、カラーレジスト成膜済ガラス基板周辺の余剰なレジスト膜に現像液を塗布し、周辺を現像する方法であって、前記カラーレジスト成膜済ガラス基板の左右の縦側縁に、現像液を塗布し現像する第1の現像工程と、前記カラーレジスト成膜済ガラス基板上下の両横側縁に、現像液を塗布し現像する第2の現像工程とを施すことを特徴とするガラス基板周辺の現像方法。
IPC (2件)：
G02B 5/20 101
, G03F 7/30
