特許
J-GLOBAL ID：200903008530016842
電子線回折強度迅速精密計測装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-059388
公開番号（公開出願番号）：特開平6-249799
出願日： 1993年02月25日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：
【要約】【目的】電子線回折強度分布をオンラインで精密に計測する。【構成】透過型電子顕微鏡1と、電子線回折像4を光の像に変換する蛍光板6と、蛍光板の光の像をCCDカメラに導入する手段7と、その光の像を撮像する冷却型CCDカメラ9と、このCCDカメラにより得られる電気信号をA/D変換し、コンピュータに入力する手段11と、電子線回折強度分布を解析するコンピュータ12と、その解析結果を出力する表示手段14,17とから構成する。
請求項（抜粋）：
透過型電子顕微鏡と、電子線回折像を光の像に変換する蛍光板と、蛍光板の光の像をCCDカメラに導入する手段と、その光の像を撮像する冷却型CCDカメラと、このCCDカメラにより得られる電気信号をA/D変換し、コンピュータに入力する手段と、電子線回折強度分布を解析するコンピュータと、その解析結果を出力する表示手段とからなることを特徴とする電子線回折強度の迅速精密計測装置。
引用特許：
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