静電容量型センサの容量検出回路

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-191386
公開番号（公開出願番号）：特開平9-043078
出願日： 1995年07月27日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：

【要約】【課題】電源電圧の変動による発振周波数の変動を極力小さく抑え、かつ寄生容量の影響による出力の非線形を補正して電極の変位量に対する発振周波数変化の直線性を改善し、併せてセンサキャパシタの片方の電極をグランド電位として使用できるようにした静電容量型センサの容量検出回路を提供する。【解決手段】物理量に対応して変化するセンサ電極の変位を、静電容量の変化として電気信号(発振周波数)に変換して検出する静電容量型センサの容量検出回路であり、一対の電極からなるセンサキャパシタの静電容量と抵抗との時定数で発振する発振回路を、センサキャパシタ1と、バッファ回路9と、シュミットトリガ回路10と、抵抗,コンデンサの直列回路からなる直線性補正回路11と、帰還抵抗12を組み合わせた無安定マルチバイブレータで構成し、かつセンサキャパシタ1の片方の電極をグランド電位とする。

請求項（抜粋）：

物理量,機械量に対応して変化するセンサ電極の変位を、静電容量の変化として電気信号に変換して検出する静電容量型センサの容量検出回路であり、電気信号変換手段として、一対の電極からなるセンサキャパシタの静電容量と抵抗との時定数で発振する発振回路を用いたものにおいて、前記発振回路をセンサキャパシタと、バッファ回路と、シュミットトリガ回路とを組み合わせた無安定マルチバイブレータで構成し、かつセンサキャパシタの片方の電極をグランド電位としたことを特徴とする静電容量型センサの容量検出回路。

IPC (3件)：

G01L 9/12 , G01L 1/14 , G01R 27/26

FI (3件)：

G01L 9/12 , G01L 1/14 A , G01R 27/26 C

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