特許
J-GLOBAL ID：200903008534440959
セラミックグリーンシートの仮積層装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-185091
公開番号（公開出願番号）：特開2009-018555
出願日： 2007年07月13日
公開日（公表日）： 2009年01月29日
要約：
【課題】セラミックグリーンシートを複数積層する際に、ガイドピンやそれを挿通させるための貫通孔を設けることなく高精度にセラミックグリーンシートを積層することができるセラミックグリーンシートの仮積層装置を提供する。【解決手段】複数のセラミックグリーンシート5を積層する積層仮接着設備8と、セラミックグリーンシート5から枠体3を分離する切断設備9と、この切断設備9から積層仮接着設備8にセラミックグリーンシート5を搬送する搬送設備10とを有し、積層仮接着設備8は、仮接着加圧テーブル11と、撮像装置14a,14bと、第1の加熱装置15とを備え、切断設備9は、切断テーブル20と、切断刃23とを備え、搬送設備10は、吸着板16と、吸引装置と、第1の貫通孔17a,17bと、第2の貫通孔18a,18bとを備えるセラミックグリーンシートの仮積層装置1による。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
複数のセラミックスグリーンシートを重ね合わせて温度と圧力をかけて接合して積層体を形成する際に用いるセラミックグリーンシートの仮積層装置であって、
前記セラミックグリーンシートの仮積層装置は、複数のセラミックグリーンシートを積層し、かつ、新たに積層されたセラミックグリーンシートをその下層に配置される他のセラミックグリーンシートに仮接着する積層仮接着設備と、枠体の内側に保持されるセラミックグリーンシートを環状に切断してセラミックグリーンシートから枠体を分離する切断設備と、前記切断設備から前記積層仮接着設備にセラミックグリーンシートを搬送する搬送設備とを有し、
前記積層仮接着設備は、上面に平坦面を具備する仮接着加圧テーブルと、この仮接着加圧テーブル上に配置されセラミックグリーンシートの上面に形成されるマーカーを撮像する撮像装置と、前記仮接着加圧テーブルの上に配置される第1の加熱装置とを備え、
前記切断設備は、上面に平坦面を具備する切断テーブルと、前記切断テーブルの上面から出没可能に収容される切断刃とを備え、
前記搬送設備は、多孔体から成り前記切断テーブルの平坦面と略水平な吸着面を具備する吸着板と、前記吸着板の吸着面の裏面側に負圧を生じさせる吸引装置と、前記吸着板に穿設され、前記吸着面にセラミックグリーンシートを吸着保持した際にこのセラミックグリーンシートの上面に形成されるマーカーの撮像を可能にする第1の貫通孔と、前記吸着板に穿設され、前記第1の加熱装置の挿通を可能にする第2の貫通孔とを備えることを特徴とするセラミックグリーンシートの仮積層装置。
IPC (4件)：
B28B 11/00
, B28B 17/00
, B28B 11/12
, H05K 3/46
B28B11/00 Z
, B28B17/00 B
, B28B11/12
, H05K3/46 H
, H05K3/46 X
, H05K3/46 Y
4G055AA08
, 4G055AC09
, 4G055BA22
, 4G055BA42
, 4G055BB03
, 4G055BB12
, 4G055EA03
, 5E346AA02
, 5E346AA22
, 5E346CC16
, 5E346EE29
, 5E346GG08
, 5E346HH31
