特許

J-GLOBAL ID：200903008542328653

ポジ型感光性樹脂組成物

発明者： 河辺 保雅 ,  佐藤 健一郎
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 萩野 平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-174889
公開番号（公開出願番号）：特開2000-010286
出願日： 1998年06月22日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：

【要約】【課題】 深紫外線、特にArF エキシマレーザー光に対して、特に残膜率、レジストパターンプロファイル、解像力、ドライエッチング耐性に優れ、しかも現像欠陥の問題を生じないポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 環状脂肪族炭化水素骨格を有し、酸の作用により分解してアルカリ可溶性となる重合体、分子量が3000以下であって、酸の作用により分解し得る基を有し、アルカリ溶解性が酸の作用により増大する、特定の部分構造を有する低分子酸分解性化合物、活性光線により酸を発生する化合物、含窒素塩基性化合物、フッ素系及び/ またはシリコン系界面活性剤を含有するポジ型感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(A)環状脂肪族炭化水素骨格を有し、酸の作用により分解してアルカリ可溶性となる重合体、(B)分子量が3000以下であって、酸の作用により分解し得る基を有し、アルカリ溶解性が酸の作用により増大する、一般式(I)で表される部分構造を有する低分子酸分解性化合物、(C)活性光線により酸を発生する化合物(D)含窒素塩基性化合物、並びに(E)フッ素系及び/またはシリコン系界面活性剤を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】一般式(I)中、Zは、【化2】又はこれらの基が1つ以上組み合わせた基を表す。R1は酸の作用により分解する基を表す。R2は、水素原子、水酸基、炭素数1〜4個のアルキル基又はアルコキシ基を表す。n、mは、各々1又は2を表す。

IPC (3件)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/075 501 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/075 501 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (13件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA09 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB41 ,  2H025CC04 ,  2H025CC20