セラミックヒーター

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤木三幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-094233
公開番号（公開出願番号）：特開平8-273814
出願日： 1995年03月29日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：

【要約】【目的】急速な昇温を可能にすると共に、耐熱衝撃性を確保しつつ製造コストをも低減化することができるセラミックヒーターを製造するものである。【構成】窒化珪素を主成分とする絶縁体グリーンシート(10)に対してレニウム含有量を10〜30wt%とするレニウム-タングステン合金粉末を印刷用インキに混合して調製される印刷用ペーストをもってヒートパターン(3)を印刷すると共に、更に絶縁体グリーンシート(11)を積層し一体とした後、適宜成形及び焼成してセラミックヒーター(1)とすることで、耐熱衝撃性が向上するので、セラミックヒーター自体の急速な昇温を可能なものとすることができ、更に高価なレニウムの使用量を低減しつつ効率よくヒートパターンを作成できるため、製造コストをも低減化することができるものである。

請求項（抜粋）：

レニウム-タングステン合金粉末を印刷用インキと混合することにより調製される印刷用ペーストをもって、窒化珪素を主成分とする絶縁体グリーンシート上に、電極取出部と一体に任意形状及び厚さを有するヒートパターンを印刷すると共に、このヒートパターンを印刷した絶縁体グリーンシートに対して該ヒ-トパターンを覆うようにヒートパターンを印刷しない窒化珪素を主成分とする絶縁体グリーンシートを積層し一体にし、焼成したことを特徴とするセラミックヒーター。

IPC (5件)：

H05B 3/20 393 , F23Q 7/00 , F23Q 7/00 605 , F23Q 7/22 620 , H05B 3/14

FI (5件)：

H05B 3/20 393 , F23Q 7/00 X , F23Q 7/00 605 M , F23Q 7/22 620 D , H05B 3/14 A

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭61-179086
セラミックヒータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-333647 出願人：日本特殊陶業株式会社
特開昭63-136485

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