特許
J-GLOBAL ID：200903008557848580
シリコン単結晶引上げ装置用黒鉛ルツボ
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-256248
公開番号（公開出願番号）：特開平7-082077
出願日： 1993年09月07日
公開日（公表日）： 1995年03月28日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、チョクラルスキー法によりシリコン単結晶を引き上げる時に使用する黒鉛ルツボにおいて、耐久寿命の長い黒鉛ルツボの提供を目的とする。【構成】 本発明の黒鉛ルツボは、外側壁面表層部に50乃至200μmの炭化ケイ素の層を有することを特徴とする。【効果】 本発明により、全表面や内面に炭化ケイ素の層を設けた黒鉛ルツボや、全く炭化ケイ素化をしなかった黒鉛ルツボに比較して、反りや亀裂の発生もなく格段に耐久寿命を長くすることができる。
請求項（抜粋）：
チョクラルスキー法によりシリコン単結晶を引き上げる時に使用する黒鉛ルツボにおいて、該黒鉛ルツボの外側壁面表層部に50乃至200μmの炭化ケイ素の層を有することを特徴とするシリコン単結晶引上げ装置用黒鉛ルツボ。
IPC (3件)：
C30B 15/10
, C04B 41/87
, C30B 29/06 502
