セラミックス・グリーンシート上にパターンを形成する方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-279880
公開番号（公開出願番号）：特開平7-135386
出願日： 1993年11月09日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：

【要約】【構成】セラミックス粉末、感光性樹脂組成物および紫外線吸光剤を含有するセラミックス・グリーンシートに、紫外線の照射と、ヴィアホールの形成を行った後、該グリーンシート上に感光性ペーストを用いてパターン形成する方法。【効果】セラミックス・グリーンシート上に感光性ペーストを用いて良好なパターンを形成できる。したがって、得られるパターンは微細なものとなる。紫外線を照射することにより、シートの耐溶剤性、耐薬品制、寸法精度、機械的強度(特に引っ張り強度)が大幅に向上する。セラミックス・グリーンシート上に感光性ペーストを用いて良好なパターンを形成できる。したがって、得られるパターンは微細なものとなる。また、シートの薄膜化が可能となるので、セラミックス多層基板の小形化、高密度化を一層可能にすることができる。

請求項（抜粋）：

以下の(1)〜(3)の工程を含むことを特徴とするセラミックス・グリーンシート上にパターンを形成する方法。(1)セラミックス粉末、光硬化性樹脂組成物および紫外線吸光剤を含有するシートスラリー組成物を支持体上に塗布、乾燥し、セラミックス・グリーンシートを作製する工程、(2)該セラミックス・グリーンシートに紫外線の照射と、ヴィアホールの形成を行なう工程、(3)ヴィアホールの形成されたセラミックス・グリーンシート上に感光性ペーストを塗布、乾燥、選択的に露光、現像することによりパターンを形成する工程。

IPC (5件)：

H05K 3/10 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 506 , H05K 1/03 , H05K 3/46

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平2-204356
特開昭63-064953
特開平4-175380

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