特許
J-GLOBAL ID:200903008560490468
ばね要素を成形するための方法及び装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
古谷 馨 (外2名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-535950
公開番号(公開出願番号):特表2000-513499
出願日: 1996年05月28日
公開日(公表日): 2000年10月10日
要約:
【要約】圧力接続をなすのに望ましい機械的特性(復元性等)を呈示する、電子コンポーネント用の相互接続要素が、成形工具(512)を用いて、弾力のある形状(片持ち梁、S字形状、U字形状を含む)を有する軟質材料(金、又は軟質銅ワイヤ等)からなる伸長コア要素(502)を成形し、また成形済みのコア要素に、硬質材料(ニッケル、及びその合金等)で保護膜を施して、結果としての複合相互接続要素に、所望のばね(復元性のある)特性を付与することにより形成される。成形工具は又、アンビル(622)及びダイ(624)とすることもでき、伸長要素の連続して成形された部分に、刻み目を付けたり、又はその部分を切断することもでき、伸長要素は、本質的に硬質の(弾力のある)材料から製作できる。
請求項(抜粋):
基板のある領域と、ワイヤボンディング装置の毛細管との間に延伸する伸長要素の一部を成形する方法において、 伸長要素の一部にある形状を付与するために、伸長要素の一部に対して成形工具を押し当てるステップを含むことを特徴とする方法。
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