特許
J-GLOBAL ID：200903008561524706
エキシマレーザ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川崎 勝弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-292249
公開番号（公開出願番号）：特開平10-107343
出願日： 1996年09月28日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：
【要約】【課題】 レーザガスの予備電離にコロナ放電を利用するエキシマレーザ装置において、信頼性が高く発振効率の高いエキシマレーザ装置を提供すること。【解決手段】 レーザ管1内に一対の主放電電極2、3と主放電電極に沿って配置されたコロナ放電発生電極とを備えてなるエキシマレーザ装置において、前記コロナ放電発生電極を、誘電体パイプ15の内部に第1の電極16を挿通し、外表面に第2の電極8を形成してなるとともに、第1の電極16を挿通した前記誘電体パイプ15をレーザ管1の外部に引き出し、レーザ管1内での絶縁耐力を高め、これによりレーザ光の共振器長を最適にして信頼性が高く発振効率の高いエキシマレーザ装置を得る。
請求項（抜粋）：
レーザ管内に一対の主放電電極と前記主放電電極に沿って配置されたコロナ放電発生電極とを備えてなるエキシマレーザ装置において、前記コロナ放電発生電極は、誘電体パイプの内部に第1の電極が挿通され外表面に第2の電極が形成されてなるとともに、内部に第1の電極を挿通した前記誘電体パイプを前記レーザ管外部に引き出してなることを特徴とするエキシマレーザ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/03 B
, H01S 3/223 E
