特許
J-GLOBAL ID：200903008563304312
反射防止膜の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-008720
公開番号（公開出願番号）：特開平8-201601
出願日： 1995年01月24日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：
【要約】【目的】 広い波長領域で反射防止効果を有する反射防止膜を簡単な工程で形成する。【構成】 無機弗化物をターゲット材料とし、成膜開始時に少なくとも酸素を含むガスを導入しながらスパッタリングを行うと共に、成膜開始時に対して成膜終了時におけるターゲットへの投入電力が大きくなるように制御する。投入電力を変化させることで屈折率の異なる薄膜を形成できるため、広い波長領域で反射防止効果を有する。投入電力の制御だけのため、工程が簡単となる。
請求項（抜粋）：
無機弗化物をターゲット材料とし、成膜開始時に少なくとも酸素を含むガスを導入しながらスパッタリングを行うと共に、成膜開始時に対して成膜終了時におけるターゲットへの投入電力が大きいように制御することを特徴とする反射防止膜の製造方法。
IPC (2件)：
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