特許

J-GLOBAL ID：200903008563470182

ポリパラキシリレン被膜の造膜方法

発明者： 高山 盛隆
出願人/特許権者： 日本パリレン株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-250046
公開番号（公開出願番号）：特開平9-059406
出願日： 1995年08月23日
公開日（公表日）： 1997年03月04日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 ポリパラキシリレンの気相蒸着被膜を被着体表面に被覆した際に、コストアップにつながるような表面処理を施すことなく、基材と被膜となるポリパラキシリレンとを強固に密着する。【解決手段】 被着体である基材の表面に下の化合物(I)、若しくは化合物(II)で表わすことのできる有機化合物をコーティングした後に、ポリパラキシリレン被膜を気相蒸着法により造膜するポリパラキシリレン被膜の造膜方法。

請求項（抜粋）：

ポリパラキシリレンの気相蒸着重合被膜を造膜するにあたり、被着体である基材の表面に下の一般式(I)、若しくは(II)(但しR1、R2は水素原子、メチル基、エチル基より選ばれる置換基で同一であっても異なっていてもよく、X1、X2、X3、X4は水素原子、若しくはハロゲン原子で同一であっても異なっていてもよい)で表わすことのできる有機化合物を薄膜にコーティングした後に、ポリパラキシリレン被膜を気相蒸着法により造膜することを特徴とするポリパラキシリレン被膜の造膜方法。【化1】【化2】

IPC (4件)：

C08J 7/04 CEZ ,  C08G 61/02 NLF ,  C23C 14/12 ,  C08L 61:18

FI (3件)：

C08J 7/04 CEZ E ,  C08G 61/02 NLF ,  C23C 14/12