特許

J-GLOBAL ID：200903008563777890

狭帯域エキシマレーザ

発明者： 若田 仁志
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高田 守 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-283420
公開番号（公開出願番号）：特開平5-121817
出願日： 1991年10月30日
公開日（公表日）： 1993年05月18日
要約：

【要約】【目的】 狭帯域エキシマレーザの効率を向上させるとともに、高次横モードを発生させる。【構成】 球面鏡により共振器を構成し、その曲率半径をR1、R2とし、共振器の長さをdとするとき0≦(1-d/R1)(1-d/R2)≦1の安定条件を満たすように曲率半径と長さを決めるとともに、エタロンの内でエタロンを構成するミラ-の間隔が最も広いエタロンをおおむねビ-ムウエスト位置に配置する。また、部分反射鏡の曲率半径をR1、共振器の長さをdとしたとき、R1<2d とすることにより、グレーティングをおおむねビームウエストに配置することができ、狭帯域エキシマレーザの効率の向上を図ることができる。

請求項（抜粋）：

2枚の球面鏡により構成された共振器中に複数のエタロンを配置したエキシマレ-ザにおいて、上記球面鏡の曲率半径をR1、R2とし上記共振器の長さをdとするとき0≦(1-d/R1)(1-d/R2)≦1の安定条件を満たすように曲率半径と長さを決めるとともに、エタロンの内でエタロンを構成するミラ-の間隔が最も広いエタロンをおおむねビ-ムウエスト位置に配置したことを特徴とする狭帯域エキシマレ-ザ。

IPC (3件)：

H01S 3/106 ,  H01S 3/08 ,  H01S 3/097

FI (2件)：

H01S 3/08 Z ,  H01S 3/097 Z