特許
J-GLOBAL ID：200903008577992114
枚葉型塗布装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
土井 育郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-183689
公開番号（公開出願番号）：特開平9-029149
出願日： 1995年07月20日
公開日（公表日）： 1997年02月04日
要約：
【要約】【課題】 乾燥後の膜厚が2μm程度の薄膜から250μm程度の厚膜までを表面平滑性良く、高精度、無欠陥で形成でき、かつ高い生産性で塗工できる枚葉型塗布装置を提供する。【解決手段】 上面に基板Aを吸着して水平方向に移動するステージ1と、このステージ1の上方に配置され、基板Aの進行方向に対して逆回転するアプリケーターロール2と、このアプリケーターロール2の斜め上方の位置で平行に且つギャップを有して配置され、アプリケーターロール2と同じ方向に回転するメタリングロールとを備え、両ロール2,3のロール面の間を塗工液Bの液溜めに利用する。塗工液Bは液溜め内で絶えず流動しながらギャップから一定の割合で送り出され、アプリケーターロール2のロール面上に一定膜厚の液膜が形成され、アプリケーターロール2はそのロール面上の液膜を基板Aに転写する。
請求項（抜粋）：
上面に基板を吸着して水平方向に移動するステージと、該ステージの上方に配置され、前記基板の進行方向に対して逆回転しながらそのロール面上から前記基板に液膜を転写するアプリケーターロールと、該アプリケーターロールの斜め上方の位置で該アプリケーターロールに平行に且つギャップを有して配置され、アプリケーターロールと同じ方向に回転しながらアプリケーターロールのロール面上に液膜を形成するメタリングロールとを備えてなり、前記アプリケーターロールのロール面と前記メタリングロールのロール面との間を塗工液の液溜めに利用したことを特徴とする枚葉型塗布装置。
引用特許：
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