特許

J-GLOBAL ID：200903008592082469

恒温槽

発明者： 鈴木 正人 ,  平尾 茂
出願人/特許権者： 日本電気ファクトリエンジニアリング株式会社 ,  日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-344719
公開番号（公開出願番号）：特開平10-185427
出願日： 1996年12月25日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：

【要約】【課題】試料31をベーキング処理する恒温槽において、試料31から発生するガスや残留する酸素などを完全に排出し清浄な不活性ガス雰囲気で接着剤の硬化させる。【解決手段】槽内の圧力を槽外の圧力より高く維持するように内圧維持用の不活性ガス供給系統の配管19bと、槽内の処理室における酸素濃度を測定する酸素濃度計14を設け、不活性ガスを気体フィルタ3を介して循環させることによって、槽外から空気を巻き込んだりリークすることも無く槽内の不純物や酸素などを完全に除去し清浄な状態が得られる。

請求項（抜粋）：

仕切壁により試料が収納される処理室と循環室とに仕切られる槽本体と、前記循環室と処理室との間に配置される気体フィルタと、前記循環室から前記気体フィルタを経て前記処理室内にファンにより循環する循環用不活性ガスを供給する槽内循環用不活性ガス供給系統と、前記循環用不活性ガスを加熱する第1のヒータと、前記槽本体内の圧力を外気の圧力より高めに維持するために不活性ガスを供給する内圧維持用不活性ガス供給系統と、前記槽体内を冷却するために冷却不活性ガスを供給する冷却用不活性ガス供給系統と、供給される前記循環用不活性ガスおよび前記内圧維持用不活性ガスによる槽本体内の圧力を弁体を開閉しながら維持するとともに前記処理室内にある不純ガスや前記試料の発生するガスを排出する第1のダンパとを備えることを特徴とする恒温槽。

IPC (3件)：

F26B 9/06 ,  F26B 25/06 ,  H01L 21/304 361

FI (3件)：

F26B 9/06 Z ,  F26B 25/06 Z ,  H01L 21/304 361 H

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-004456
  
• 特開平1-247072
  
• 特開平2-271287