絞り弁によって分配される流体の流れ特性の変動を補償するための方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡部正夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-112794
公開番号（公開出願番号）：特開平8-338409
出願日： 1996年05月07日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】少ない校正手順で流体の分配流量を制御することのできる装置及び方法を提供する。【解決手段】流体分配制御装置22は、絞り弁30によってノズル36を通してワークピース38に分配される流体を制御する。流体流量とノズル圧力との間の関係に関連する、流体の流れ特性の初期値が決定される。上記初期値及び所望流量値に応じて、ノズルを通る流体の流量モデルを評価することにより、所望ノズル圧力値が周期的に決定される。その後、制御装置は、所望ノズル圧力の関数として、命令信号を絞り弁に与える。測定ノズル圧力に対する分配サイクルの間に分配された流体の測定体積の関数として、流れ特性の新しい値が決定される。このような最新化された値を用いて、ノズルを通る流体の流量モデルを再評価し、所望ノズル圧力を発生させ、分配流量を制御するプロセスを繰り返えす。

請求項（抜粋）：

絞り弁によってノズルを通してワークピースに分配される流体の一連の分配サイクルの間の流れ特性の変動を補償するための方法であって、(a) 流体の流量に関連する流体の流れ特性の初期値をノズル圧力の関数として決定する工程と、(b) ある分配サイクルの間に、前記流れ特性の初期値及び所望流量値に応答して、ノズルを通る流体の流量モデルを評価することにより、所望ノズル圧力値を周期的に決定する工程と、(c) 前記分配サイクルの間に、前記所望ノズル圧力値の関数として、命令信号を前記絞り弁に周期的に与える工程と、(d) 前記分配サイクルの間に、分配される流体の測定体積及び測定ノズル圧力を検知する工程と、(e) 前記分配サイクルの間に分配された流体の測定体積及び測定ノズル圧力の関数として、流体の新しい流れ特性値を決定する工程と、(f) 前記流体の新しい流れ特性値、及び、その後の分配サイクルの間の所望流量値に応答して、前記ノズルを通る流体の流量モデルを評価することにより、所望ノズル圧力値を周期的に決定する工程と、(g) 前記工程(c)乃至(f)を繰り返す工程とを備えることを特徴とする方法。

IPC (4件)：

F15D 1/08 , F15C 1/04 , G05D 7/06 , G05D 16/20

FI (4件)：

F15D 1/08 Z , F15C 1/04 , G05D 7/06 Z , G05D 16/20 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平3-026368
特開昭62-074110
特開昭61-015763

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