特許
J-GLOBAL ID：200903008601272713
半導体チップの外観検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 長七 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-174117
公開番号（公開出願番号）：特開平8-043042
出願日： 1994年07月26日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：
【要約】【目的】フィルム上の半導体チップの間隔や向きが不均一であっても画像入力装置の視野内に所望の半導体チップを位置させる。【構成】合成樹脂のフィルム上に縦横に並ぶ多数の半導体チップを載置する。隣接する半導体チップの間隔である基準距離および両基準チップを結ぶ直線の傾きを求める(S1,S2)。画像入力装置の視野に1個の半導体チップを収めた位置からウエハと画像入力装置とを上記傾きの方向に基準距離だけ相対的に移動させる。次に、画像入力装置の視野内に存在する半導体チップについて求めた特定点と、テンプレートの特定点とを一致させるように半導体チップの画像の位置を補正する(S4〜S8)。その後、半導体チップの画像とテンプレートとの一致度により半導体チップの不良箇所の有無を検出する(S9)。
請求項（抜粋）：
多数の半導体チップを縦横に配列して形成したウエハを合成樹脂のフィルムに載置し、各半導体チップを切り離した後に隣接する半導体チップ間に隙間が形成されるようにフィルムを引き伸ばした状態で各半導体チップについて画像入力装置により撮像した画像に基づいて外観を検査する方法であって、ウエハの上で規定された複数個の半導体チップを基準チップとし、縦方向または横方向の一直線上に設けた一対の基準チップ間の半導体チップの既知個数と、両基準チップを視野内に含む画像入力装置で得た画像に基づいて得た基準チップの代表点の画像内での座標とから隣接する半導体チップの間隔の平均値である基準距離および両基準チップを結ぶ直線が画像の座標軸に対してなす傾きを求め、画像入力装置の視野に1個の半導体チップを収めた位置からウエハと画像入力装置とを上記傾きの方向に基準距離だけ相対的に移動させ、次に画像入力装置の視野内に存在する半導体チップについて求めた複数の特定点と、あらかじめ規定されているテンプレートの複数の特定点とを一致させるように半導体チップの画像の位置を補正した後、半導体チップの画像とテンプレートとの一致度により半導体チップの不良箇所の有無を検出することを特徴とする半導体チップの外観検査方法。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, H01L 21/66
, H01L 21/68
