特許

J-GLOBAL ID：200903008604660021

液晶ディスプレイ基板の検査方法

発明者： フランソア ジェイ・ヘンリィ
出願人/特許権者： フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド ,  石川島播磨重工業株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-242373
公開番号（公開出願番号）：特開平5-273139
出願日： 1992年09月10日
公開日（公表日）： 1993年10月22日
要約：

【要約】【目的】 本発明は表示ムラが生じている液晶ディスプレイ基板を検査する方法を提供することを目的とする。【構成】 電場を印加すると光学的性質が変化する電気光学素子を液晶ディスプレイ基板に対向配置し、前記ディスプレイ基板の配線に通電してディスプレイ基板上の画素電極により電気光学素子に検査光を入射し、画素電極ごとの光学的変化を電圧分布に置き換えて欠陥を検出する。【効果】 本発明によれば、画素電極が作動するかしないかの判別ができることは勿論、画素電極が作動していても各画素電極が所望の作動状態にあるか否かの判別ができる。従って本発明方法を実施することであいまいな表示ムラを生じている液晶ディスプレイ基板をも検査することができる。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された複数のゲート配線と複数のソース配線と複数の画素電極とを具備してなる薄膜トランジスタを有する液晶ディスプレイ基板を検査する方法において、電場を印加すると光学的性質が変化する電気光学素子を前記液晶ディスプレイ基板に微小間隔をあけて対向配置し、前記ゲート配線とソース配線に通電して液晶ディスプレイ基板の各画素電極により電気光学素子に電場を印加するともに、電場を印加した状態の電気光学素子に検査光を入射してこの検査光の画素電極ごとの光学的性質の変化を受光器で捕らえ、この受光器で捕らえた光学的変化を画素電極ごとの電圧に置き換え、置き換えた画素電極ごとの電圧分布によって液晶ディスプレイ基板の欠陥を検査することを特徴とする液晶ディスプレイ基板の検査方法。

IPC (5件)：

G01N 21/88 ,  G01M 11/00 ,  G01R 31/00 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/136 500

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-142498
  
• 特開昭64-018073
  
• 特開平3-167490
  
• 特開平2-093871