特許

J-GLOBAL ID：200903008605468272

静電接合装置

発明者： 大村 義輝 ,  徳光 早苗 ,  野々村 裕 ,  塚田 厚志
出願人/特許権者： 株式会社豊田中央研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-237174
公開番号（公開出願番号）：特開平5-051270
出願日： 1991年08月22日
公開日（公表日）： 1993年03月02日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、導電性材料と絶縁性材料を気泡を生成することなく接合する静電接合装置に関する。【構成】 絶縁性材料の電圧印加面に設けられた複数の電極と、該電極に接続された電圧印加手段と、導電性材料と絶縁性材料との接合時に流れる接合電流を測定し、該接合電流の変化に応じて信号を出力する制御手段とからなり、前記制御手段からの出力信号に基づいて前記電圧印加手段により規則性をもって電極に電圧を印加することを特徴とする静電接合装置。本発明の静電接合装置により、欠陥のない静電接合を自動的に行うことができる。

請求項（抜粋）：

導電性材料と絶縁性材料とを接触させて電圧を印加し、両者を接合させるための静電接合装置において、前記絶縁性材料の電圧印加面に設けられた複数の電極と、前記電極に接続された電圧印加手段と、前記導電性材料と絶縁性材料との接合時に流れる接合電流を測定し、該接合電流の変化に応じて信号を出力する制御手段とからなり、前記制御手段からの出力信号に基づいて前記電圧印加手段により規則性をもって各電極に電圧を印加することを特徴とする静電接合装置。

IPC (2件)：

C04B 37/00 ,  H01L 21/02

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-229863
  
• 特開昭59-031431
  
• 特開昭62-016534