特許
J-GLOBAL ID：200903008609570888
気体流量制御装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森田 雄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-318423
公開番号（公開出願番号）：特開平5-127755
出願日： 1991年11月06日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：
【要約】【目的】 気体流量制御装置において、高精度な流量制御を可能にし、かつ、流量のリプルを低減させる。【構成】 容器3の気体流入側に流入量制御部としての電磁弁2を設け、気体流出側に流出量制御部としての電磁弁6を設ける。また、容器3内の気体の圧力、温度を各々測定する圧力センサ4、温度センサ5を設置する。電磁弁6の開放により容器3から気体が流出する前後であって、容器3内の気体が停止している二つの状態での気体の圧力及び温度と諸定数とを用いて容器3から単位時間当たりに流出した気体のモル数(流量)を算出する演算手段と、この演算手段により算出した流量と目標値との比較結果に応じて電磁弁6の開放時間を制御する制御手段とを、マイコン8により実現する。
請求項（抜粋）：
容器の気体流入側に配置された流入量制御部と、容器の気体流出側に配置された流出量制御部と、容器内の気体の圧力及び温度をそれぞれ測定する圧力センサ及び温度センサと、流入量制御部を開、流出量制御部を閉として容器内に気体を流入させた後、流入量制御部及び流出量制御部を閉として前記各センサにより測定した容器内の気体の圧力及び温度と、流入量制御部を閉、流出量制御部を開として容器から気体を流出させた後、流入量制御部及び流出量制御部を閉として前記各センサにより測定した容器内の気体の圧力及び温度とを用いて容器から流出した気体の流量を算出する演算手段と、この演算手段により算出した気体の流量と目標値との比較結果に応じて流出量制御部を開とする時間を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする気体流量制御装置。
IPC (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
