特許
J-GLOBAL ID：200903008622346113
静電型可動接点素子および静電型可動接点集積回路
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-019782
公開番号（公開出願番号）：特開平9-213191
出願日： 1996年02月06日
公開日（公表日）： 1997年08月15日
要約：
【要約】【課題】 回路間の接続をより低抵抗で接続を可能にすることを目的とする。【解決手段】 スイッチ10を閉じて直流電圧5Vを固定電極2と可動電極4との間に印加することで、生じた静電引力により支持梁5が撓み、可動電極4が固定電極2に引きつけられ接触する。
請求項（抜粋）：
絶縁性基体上に固定された接続部および前記絶縁性基体と一定の空隙を隔てて前記接続部に続く可動な支持部から構成された支持梁と、前記支持部下の前記絶縁性基体上に形成された第1の電極と、前記支持部の前記第1の電極に対向する面に、前記第1の電極と所定の空隙をあけて形成された第2の電極とを少なくとも備えたことを特徴とする静電型可動接点素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01H 59/00
, H01L 21/82 A
