カラーフィルターの製造方法、カラーフィルター及びその製造装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中島淳 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-297466
公開番号（公開出願番号）：特開平11-133224
出願日： 1997年10月29日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：

【要約】【課題】フォトリソグラフィーを使用することなく、工程数も少なく、高解像度で制御性も高いカラーフィルターの製造方法を提供する。【解決手段】透明基板12上に透明導電膜14、半導体薄膜16を順次形成した基板18を準備し、液体を保持し得る容器20内に色材とpHの変化により化学的に溶解或いは析出・沈降する電着材料とを含有する水系液体22を準備し、画像パターンに従って電流または電界を供与できる手段24を透明導電膜に接続した基板18を半導体薄膜16が水系液体22に浸漬されるよう固定し、電極対の他方である対向電極26を該容器20内に配置し、該基板18の透明基板12上に所定のマスクパターン28を配置して光照射を行い、光照射による起電力が発生した部分に選択的に電着材料を含む電着膜30を析出させて単色のカラーフィルターを形成する。色材の色調を変えて、複数のカラーフィルターを形成する工程を繰り返して多色のカラーフィルターを形成しうる。

請求項（抜粋）：

透明基板上に透明導電膜を形成し、その上部に有機半導体膜又は無機半導体膜を形成した基板を準備し、液体を保持しうる容器内に色材とpHの変化により化学的に溶解或いは析出・沈降する電着材料を含有する水系液体を準備し、電流または電界を供与できる手段を透明導電膜に接続した該基板を半導体薄膜が該水系液体に浸漬されるよう固定するとともに、電極対の他方である対向電極を合わせ持つ装置を該容器内に配置し、該基板を透明基板上に光照射を行い、光照射による起電力が発生した部分に選択的電着材料を含む電着膜を析出させて単色のカラーフィルターを形成すること、を特徴とするカラーフィルターの製造方法。

IPC (2件)：

G02B 5/20 101 , G02B 5/22

FI (2件)：

G02B 5/20 101 , G02B 5/22

引用特許：

審査官引用 (14件)

特開平3-087702
特開平3-087702
特開平3-224661

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