全反射測定方法及び全反射測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋祐司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-368540
公開番号（公開出願番号）：特開平10-185805
出願日： 1991年07月01日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：

【要約】【課題】本発明の目的は、顕微鏡を用いた全反射測定を容易に行うことを可能とすることにある。【解決手段】中心部に孔(12a)が形成された凹面鏡(12)と該凹面鏡よりも径の小さい凸面鏡(14)とを中心軸を一致させて対向配置したカセグレニアン鏡(10、20)の該凹面鏡に、略半球形の平凸レンズ(32C)の凸面を対向させ、該平凸レンズの中心軸を該カセグレニアン鏡の中心軸に一致させ、該平凸レンズの平面に試料(30)を当接させ、この状態で、該孔から光束を入射させて、該凸面鏡、該凹面鏡の順に該光束を反射させ、該平凸レンズの平面中心点に臨界角以上の入射角で該光束を収束させ、全反射光を該凹面鏡、該凸面鏡の順に反射させ、該孔から出射した該全反射光を検出することを特徴とする全反射測定方法及び装置。

請求項（抜粋）：

中心部に孔(12a)が形成された凹面鏡(12)と該凹面鏡よりも径の小さい凸面鏡(14)とを中心軸を一致させて対向配置したカセグレニアン鏡(10、20)の該凹面鏡に、略半球形の平凸レンズ(32C)の凸面を対向させ、該平凸レンズの中心軸を該カセグレニアン鏡の中心軸に一致させ、該平凸レンズの平面に試料(30)を当接させ、この状態で、該孔から光束を入射させて、該凸面鏡、該凹面鏡の順に該光束を反射させ、該平凸レンズの平面中心点に臨界角以上の入射角で該光束を収束させ、全反射光を該凹面鏡、該凸面鏡の順に反射させ、該孔から出射した該全反射光を検出することを特徴とする全反射測定方法。

IPC (3件)：

G01N 21/27 , G02B 17/00 , G02B 21/04

FI (3件)：

G01N 21/27 C , G02B 17/00 A , G02B 21/04

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平2-223847
特開昭62-220834
特開昭62-161041

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